İnterferometrik üç-boyutlu temassız ölçüm sistemlerinde girişim deseni analizi için yeni yöntemlerin araştırılması

Abstract

Güvenilir, yüksek çözünürlüklü boyutsal bilginin elde edilmesi, bilimsel ve endüstriyel alanda önemli bir konudur. Son yıllarda temassız bir şekilde üç boyutlu profil ölçümü yapabilmek için çok sayıda çalışma gerçekleştirilmiştir. Bu çalışmalar interferometrik boyutsal ölçüm sistemlerinin çevre şartlarına duyarlılık ve işlem süresinin uzunluğu gibi birkaç dezavantajının olduğunu göstermiştir.Bu tezde, interferometrik üç boyutlu ölçüm sistemleri için yeni işaret işleme yaklaşımları geliştirilmiştir. Bu yaklaşımlar, girişim desenini analiz ederek konumsal bilgi elde etmek amacıyla kullanılmıştır. Ayrıca bu işaret işleme yöntemleri, deneysel çalışmalarla da doğrulanmıştır. Bu deneysel çalışmalarda bu yeni yöntemlerin yaygın olarak bilinen girişim deseni analizi yöntemlerinden çok daha iyi performansa sahip oldukları gösterilmiştir.

Obtaining of reliable dimensional information with high resolution is an important subject in scientific and industrial areas. In recent years a lot of works have been carried out for the noncontact measurement of three dimensional profiles. These works show that the interferometric measurement systems have a few disadvantages as sensitivity to environmental conditions and long processing time.In this thesis, new signal processing approaches are devoloped for the interferometric three dimensional measurements systems. These approaches are used for the analysis of the fringe pattern to obtain dimensional information. Furthermore the signal processing methods are validated by experimental works. These experiments show that the new methods have better performance than well known fringe pattern techniques.