ZNO ince filmlerin hazırlanması ve karakterizasyonu

Abstract

ZnO ince filmler teknolojik uygulamaları nedeniyle ilgi çekicidir Bu* çalışmada, ZnO ince filmler sol-gel tekniği ile üretilmiş optik ve yapısal özellikleri açıklanmıştır, c-ekseni tane yönlenmesine sahip ZnO ince filmler mikroskop camı üzerine hazırlanmıştır. Çinko asetat başlangıç malzemesi olarak kullanılmıştır. Çinko asetatın 2-propanol ve dietanolamin içerisinde çözülmesiyle uzun ömürlü ve homojen çözelti elde edilmiştir. İnce filmler 450 °(7, 500 °C ve 550 °C sıcaklıklarında birer saat tavlanmıştır. Elde edilen ZnO filmlerin geçirgenlikleri 300-800 nm dalga boyları arasında ölçülmüştür. Filmlerin mikro yapıları XRD, SEM ile araştırılmıştır. ZnO ince filmlerin özellikleri sıcaklığa ve katman sayısına göre karşılaştırılmıştır. Sıcaklık artışı filmlerde tanecik boyutunu ve c-ekseni tane yönlenmesini artırmıştır. Film kalınlığı ve yoğunluğu katman sayısı ile artmıştır.ZnO thin films are of interest due to their technological application^ Jfej this study, ZnO thin films are produced by sol-gel technique and their optical and structural properties are explored, c-axis oriented ZnO thin films were prepared on microscope glass substrates. Zinc acetate was used as a starting material. A homogeneous and stable solution was prepared by dissolving the zinc -acetate in 2-propanol and diethanolamine. The films were obtained by annealinng process at 450 °C, 500 °C and 550 °C temperatures for one hour. The transmittance spectra of the films have been measured between 300- 800 nm. The microstructure of these films were investigated by using XRD, SEM. Properties of ZnO thin films have been compared with respect to temperature and number of coatings. Increasing the heat treatment temperature increased the grain size of ZnO thin films and c-axis orientation. The thickness and density of the films increased with increasing number of coatings.