Reaktör esaslı pozitron demeti ve mikro analiz

Abstract

Pozitron demeti, malzeme analizinde yıllardır kullanılan kendini ispatlamış bir tekniktir. Pozitron elektron ile aynı kütleye sahip fakat karşıt yüklü olarak, antimadde grubu üyesidir. Pozitronların pozitif yükü malzemeler içindeki elekron yoğunluğunun değişiminine çok duyarlıdır. Bir çok malzemenin özellikleri yapısındaki bozuklukları ile ilgilidir. Bozuk malzemelerdeki momentum dağılımı ve elektron yoğunluğu, mükemmel kristallerinkinden farklıdır, bu farkı pozitronlar dedekte edebilir ve yıllardır metal ve polymer türü malzemelerdeki kusurların dedekte edilmesinde kullanılmıştır. Pozitronlar son yıllarda yan iletkenlerde kusurların analiz edilmesinde sıkça kullanılmaya başlanmıştır. Bu tez çalışmasında pozitron demeti incelenmiş ve BF2 implanted Silikon PAS tekniği kullanılarak analiz edilmiştir.

For many years positron have proven to be very useful probes Tq/'materials/ analysis. Positrons are are particles with the same mass as an electrons, but with opposite charges; this means that positron belongs to the group of antimatter. Their positive charge make them very sensetive for changes in the electrons density in materials. Many material properties are related to the defects that exist in its structure. Since te electron density and momentum distribution in these defects is different from those for a prefect crystal., positron can be used to dedect these defects. Positron have been used to dedect defects for many years in all kind of materials like metals and polymers. Lately an increasing number of positron have been performed. To able to analyze not only semiconducter bulk materials, but also structures made in these materials, an analyzing technique with a laterel resolution of the order of the size of these structures has become necessary. Positron micro analysis will be able to fullfill this need. In this work positron bean studied and BF2 implanted silicone was analysed with using PAS.