BaTiO3 ince filminin sol-gel yöntemi ile üretilmesi, elektronik ve morfolojik karakterizasyonu

Abstract

Bu tezimizde perovskite yapıdaki BaTi03 ince filmi polimer başlangıç malzemeleri kullanılarak sol-jel yöntemi ile Si wafer altlık üzerine kaplanmıştır. X ışınları kırınım (XRD) analizi, filmin polikristal yapıda olduğunu ve tetragonal simetriye sahip olduğunu göstermiştir. Ayrıca kırınım pik şiddetlerinde sinG ile artan bir genişleme olduğu ve buna bağlı olarak tane boyutunun küçüldüğü gözlenmiştir. Filmin morfolojik yapısı ise atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ile incelenmiştir. Filmlerin tane boyutu ortalama 80-100 nm. olarak bulunmuştur. Oda sıcaklığında yapılan elektriksel ölçümlerde, nonlineerlik katsayısı 1 kHz'de 1,5 olarak ölçülmüştür. Farklı frekanslarda I-V ve C-V ölçüm sonuçları da detaylı olarak incelenmiştir.In this thesis, BaTiCh thin film has been obtained in perovskite structure using polymeric precursors on Si wafer via sol-gel process. XRD analysis has showed that the film was in polycrystalline form and had tetragonal symetry. In addition it was observed that there was broading in diffraction peak intensities as sin9 increases. Related to this broading, a decreasing was observed in grain size. The morphological properties of film has been investigated using atomic force microscopy (AFM). The average grain size and the thickness of the films were found to be 80-100 nm, 30utn respectively. The nonlineerty coefficiant was determined to be 1,5 at 1 kHz in room temperature measurments. The I-V and C-V measurment results at different frequencies also has been investigated in detail.