Sol-jel tekniği ile nanogözenekli dalga kılavuzu özelliği gösteren ince filmlerin üretimi

Abstract

Bu çalışmada sol-jel yöntemi ile hazırlanan SiO2-TiO2 ince filmlerin; optik, elektriksel veyapısal özellikleri incelenmiştir. Başlangıç malzemesi olarak kullanılan tetraetilortosilikat(TEOS) içerisine ethanol, asetilaseton (AcAc), su (H2O) ve tetra-n-bütilortotitanat (TnBT)ilave edilen bu çözeltinin H2O ve TiO2 oranları değiştirilerek yeni çözeltiler oluşturulmuştur.Hazırlanan çözeltiler daldırarak kaplama yöntemi ile cam altlıklar üzerine 10 kat kaplamayapılmıştır. Yapılan her bir kat kaplamadan sonra 300° C' de 5dk kurutma, 10. kattan sonrada 350° C' de 1 saat ısıl işlem yapılmıştır. Elde edilen ince filmlerin özelliklerininincelenmesi için UV-VIS spektrumları, SEM görüntüleri, profilometre ölçümleri, prizmaçiftleyicide (prism coupler) kırılma indisleri ve film kalınlıkları incelenmiştir.In this study, SiO2-TiO2 sol-gel thin films prepared by the sol-gel method optical,electrical and structural properties were investigated. Tetraetilortosilikat used as startingmaterial (TEOS). Ethanol, acetylacetone (AcAc), water (H2O) and tetra-n-bütilortotitanat(TnBT) was added, to form solution H2O and TiO2 amounts varied between solutions.Solutions prepared was coated on glass substrate by dip coating method. 10 layers werecooted, each layer dried at 300° C for 5 minutes. After 10 times of coating the film were heattreated for 1 hour at 350° C. The properties of thin films were examined by UV-VIS spectrum,SEM, profilometry and prism coupler.