Nefes analizi için metaloksit tabanlı gaz sensörlerinin geliştirilmesi

Abstract

Bu çalışmada indiyum oksit (In2O3) mikroyapıların belirli üretim yöntemi ile üretimi, karakterizasyonları ve gaz algılama özellikleri incelenmiştir. İndiyum oksit (In2O3) mikroyapılar hidrotermal üretim yöntemi ile üretilmiştir. Tekrarlanabilir ürünlerin elde edilebilmesi için mikroyapıların altlık üzerindeki dağılımının homojen olmasına özen gösterilmiştir. Yapısal karakterizasyon işlemlerinde taramalı elektron mikroskobu (SEM) ve X ışınları kırınımı (XRD) yöntemleri kullanılmıştır. Mikro sensör aygıtları fotolitografi yöntemi ile üretilmiştir. Elektriksel karakterizasyon işlemleri ve gaz algılama özellikleri özel olarak tasarlanan ölçüm sisteminde sıcaklığın, gaz konsantrasyonlarının ve uygulanan potansiyelin fonksiyonu olarak incelenmiştir. Indiyum oksit (In2O3) tabanlı mikro sensör aygıtları ile Diyabet hastalığı belirteci olan Aseton gazının ölçümleri yapılmıştır. Gaz ölçüm sistemimizde ölçülen Aseton gazı, Diyabet Hastalığı'nın teşhisi için göz önüne alınan (1.8-0.5 ppm) referans aralığındadır.In this study, the production, characterization and gas sensing properties of indium oxide (In2O3) microstructures were investigated by a specific production method. Indium oxide (In2O3) microstructures were produced by hydrothermal production method. In order to obtain the repeatable products, it has been taken care that the distribution of microstructures is homogeneous on the substrate. Scanning electron microscopy (SEM) and X-ray diffraction (XRD) methods were used for structural characterization processes. Microsensor devices were manufactured by photolithography. Electrical characterization processes and gas detection features were examined as a function of temperature, gas concentrations and applied potential using a measuring system that was specially designed. Measurement of Acetone gas that is an indicator of Diabetes mellitus was performed with indium oxide (In2O3) based microsensor devices. Acetone gas measured in our gas measuring system is in the reference range (1.8-0.5 ppm) considered for the diagnosis of Diabetes.